岡本工作機械公布最大超精龍門式平面研削機床

導讀：在溫度保持在23±0.5℃的半地下工廠運行　　岡本工作機械制作所2007年12月7日公布了加工范圍“達到全球最大級別”的大型超精密高剛性龍門式平面研削機床“UDG10035NC”。在可像工作臺導軌面那樣可動分和靜止分相互接觸的面上采用了該公司擅長的“可變靜壓滑動系統(tǒng)”。

UDG10035NC是可以磨削大型件的龍門式平面研削機床。

　　在溫度保持在23±0.5℃的半地下工廠運行

　　岡本工作機械制作所2007年12月7日公布了加工范圍“達到全球最大級別”的大型超精密高剛性龍門式平面研削機床“UDG10035NC”。主要用于加工用于半導體與液晶裝置的大型高精度平面工件，加工范圍為長10m×寬3.5m（通過寬度為4m）。研削機床將安裝在該公司位于群馬縣安中市的安中工廠，計劃12月投入運行。

　　近年來，平板顯示器（FPD）的尺寸日趨大型化。同時，光掩模以及XY工作臺等FPD制造需要的裝置也日益大型化。對可以高精度加工大尺寸件的機床的需求日益擴大。新設備就是用來制造滿足上述要求機床的“母機床”。

　　加工大型研削機床的件時，原來使用的是加工范圍為10m×2m的研削機床。新設備可以加工更大尺寸的件，“加工時間比原來減少大約一半”（岡本工作機械制作所）。

　　新設備包括工作臺和橫梁（Cross rail）兩分。其中，工作臺左右移動用來固定工件。橫梁上設置有保持兩種砂輪主軸的單元，并可前后移動。新設備的特點是除了工作臺，一般認為比較困難的橫梁方向也提高了真直度的精度。前后左右方向上的精度均為0.5μm/m。

　　在可像工作臺導軌面那樣可動分和靜止分相互接觸的面上采用了該公司擅長的“可變靜壓滑動系統(tǒng)”。靜壓方式是指向導軌面的空隙供給高壓流體，使兩個面之間保持非接觸狀態(tài)，維持導軌面的剛性?？勺冹o壓方式則進一步根據(jù)導軌面的負荷控制流體的流量。這樣，在防止工作臺傾斜的同時，還可以減小導軌面的磨損。使用可變靜壓方式時，導軌面的剛性是采用靜壓方式的大約4倍。

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