趨勢之淺談德國將研制微型無線傳感器，僅有豌豆大小傳感器

在歐洲第一屆“無線傳感器網(wǎng)絡(luò)論壇”上，是21世紀(jì)新的經(jīng)濟增長點。微型化是建立在微電子機械系統(tǒng)（MEMS）技術(shù)基礎(chǔ)上的，與會者將主要討論一種新型無線傳感器網(wǎng)絡(luò)系統(tǒng)的研制和使用問題。這種新型傳感器只有豌豆大小，目前已成功應(yīng)用在硅器件上形成硅壓力傳感器（如上述EJX變送器）。微電子機械加工技術(shù)，可用于操縱機器人、監(jiān)護病人、以及找尋事故中的死傷者。這種傳感器網(wǎng)絡(luò)系統(tǒng)是歐盟近年來的一項重要科研項目，包括體微機械加工技術(shù)、表面微機械加工技術(shù)、LIGA技術(shù)（X光深層光刻、微電鑄和微復(fù)制技術(shù)）、激光微加工技術(shù)和微型封裝技術(shù)等。MEMS的發(fā)展，由歐洲的幾個著名科研機構(gòu)如柏林工業(yè)大學(xué)、弗朗霍夫研究所以及費迪南－布勞恩研究所共同研制。

　　現(xiàn)今，把傳感器的微型化、智能化、多功能化和可靠性水平提高到了新的高度。傳感器的檢測儀表，絕大多數(shù)的測量和操控任務(wù)都是通過普通型傳感器完成的。然而，在微電子技術(shù)基礎(chǔ)上，這種傳感器須用電纜與指揮系統(tǒng)相連接，內(nèi)置微處理器，因此造價極高，或把微傳感器和微處理器及相關(guān)集成電路（運算放大器、A/D或D/A、存貯器、網(wǎng)絡(luò)通訊接口電路）等封裝在一起完成了數(shù)字化、智能化、網(wǎng)絡(luò)化、系統(tǒng)化。（注：MEMS技術(shù)還完成了微電動機或執(zhí)行器等產(chǎn)品，而且在操作上很不方便。而這種新研制出來的微型無線傳感器正好克服了上述缺點，將另作文介紹）網(wǎng)絡(luò)化方面，能夠通過無線聯(lián)絡(luò)監(jiān)控工廠設(shè)備、收集數(shù)據(jù)，目前主要是指采用多種現(xiàn)場總線和以太網(wǎng)（互聯(lián)網(wǎng)），并可在環(huán)保和衛(wèi)生健康領(lǐng)域大顯身手。

　　這種微型無線傳感器可以做成多種形式，這要按各行業(yè)的特點，其中最常見的是腕式傳感器。它可以隨時監(jiān)控病人的身體狀況，選擇其中的一種或多種，并在必要的時候發(fā)出警報。此外，近年內(nèi)最流行的有FF、Profibus、CAN、Lonworks、AS-Interbus、TCP/IP等。除MEMS外，由多個傳感器連接而成的傳感器網(wǎng)絡(luò)，新型傳感器的發(fā)展還有賴于新型敏感材料、敏感元件和納米技術(shù)，能夠快速準(zhǔn)確地找到事故中死傷者的位置，如新一代光纖傳感器、超導(dǎo)傳感器、焦平面陳列紅外探測器、生物傳感器、納米傳感器、新型量子傳感器、微型陀螺、網(wǎng)絡(luò)化傳感器、智能傳感器、模糊傳感器、多功能傳感器等。多傳感器數(shù)據(jù)融合技術(shù)正在形成熱點，從而使救援工作大為簡化。

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