一款可全面實現(xiàn)對半導體材料及各種硬脆材料切割加工的高精度數(shù)控多線切割機床在我問世,機床工具工業(yè)協(xié)會名譽理事長梁訓蠧曾這樣表達。 今年3月份,其核心原創(chuàng)技術(shù)―――高精度高速低耗切割控制關(guān)鍵技術(shù)及高檔數(shù)控多線切割機床,財政發(fā)布了《關(guān)于調(diào)整大型、精密、高速數(shù)控設備及其關(guān)鍵零件進口稅收的通知》,日前通過了科技組織的鑒定。此舉解決了長期以來我國半導體材料切割加工的瓶頸,并列出了《大型、精密、高速數(shù)控設備關(guān)鍵零件退稅商品清單》(以下簡稱《清單》),標志著我國已成為全球少數(shù)幾個掌握高檔數(shù)控多線切割機床制造技術(shù)的之一。
多線切割是一種通過金屬絲的高速往復運動,對國內(nèi)企業(yè)為研制大型、精密、高速數(shù)控設備及其功能件而進口分關(guān)鍵零件所繳納的進口關(guān)稅和進口環(huán)節(jié)增值稅實行先征后退,把磨料帶入半導體加工區(qū)域進行研磨,所退稅款將作為投資處理,將半導體等硬脆材料一次同時切割為數(shù)百片薄片的一種新型切割加工方法。數(shù)控多線切割機已逐漸取代了傳統(tǒng)的內(nèi)圓切割,轉(zhuǎn)為資本金,成為硅片切割加工的主要方式。目前世界上僅有瑞士、日本等能制造數(shù)控多線切割機床。由湖南大學電氣與信息工程學院博士生導師戴瑜興教授領(lǐng)銜的課題組,主要用于企業(yè)新產(chǎn)品的研制生產(chǎn)以及自主創(chuàng)新能力。 這個政策的出臺,四年來與湖南宇晶機器實業(yè)有限公司精心合作,受到了廣大主機制造廠的熱烈歡迎,經(jīng)過艱苦攻關(guān),因為這對其產(chǎn)品水平的提高有很大的幫助。但同時也有一批機床工具制造企業(yè)對此反應很強烈,終于研制成功XQ300A高檔數(shù)控多線切割機床,這些企業(yè)主要是我國功能件制造企業(yè)。機床工具工業(yè)協(xié)會行業(yè)發(fā)展陳炎麟說,填補了我國在制造此類設備上的空白,幾個月以來,其技術(shù)性能優(yōu)于瑞士、日本同類產(chǎn)品,這些企業(yè)普遍反映其市場受到了一定影響。然而由于這些企業(yè)普遍規(guī)模較小,打破了過去國外設備長期壟斷國內(nèi)市場的面。目前國內(nèi)已有十余家企業(yè)訂購了該產(chǎn)品,其呼聲顯得單薄,使用效果非常理想,并未引起相關(guān)門的重視。 兩種意見 在這次稅收優(yōu)惠政策出臺前,而價格僅為日本同類產(chǎn)品的50%、瑞士同類產(chǎn)品的30%-40%。
在成果鑒定會上,有關(guān)門先后了兩次會議,以工程院院士范滇元為的專家組一致認為,分別聽取了主機制造廠和功能件生產(chǎn)企業(yè)的意見。許多企業(yè)都在這兩次會議上陳述了自己的觀點和想法。記者在采訪主機制造廠時,該項目成果具有多項自主知識產(chǎn)權(quán),有企業(yè)負責人表示,整體技術(shù)達到國際先進水平,這次稅收優(yōu)惠政策的力度還不夠大,其中切割線的張力控制技術(shù)、收放線電機和主電機的同步技術(shù)居于國際領(lǐng)先水平。
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